原子間力顕微鏡　AFM (Oxford instruments）　
仕様 

分解能： 水平(X,Y)100pm～数nm　

          ： 垂直(Z)20pm（環境に依存、現状の環境での実測値）

測定モード： AC(タッピング)モード・コンタクトモード・液中測定
　　　　　　　 ・フォースカーブ>・C-AFM・SKPM・EFM
                 ・PFM・MFM・AMFM粘弾性
スキャナ走査範囲（X*Y*Z）： 30um*30um*5um

 

装置について　
カンチレバーと呼ばれる探針の背面にレーザーを当てます。反射させたレーザー光を、検出することにより、カンチレバーと試料との相互作用による‟たわみ“を検出します。このたわみより高さ、硬さ、柔らかさ、導電性などを評価します。