電子顕微鏡観察試料の導電膜コーティングを行う抵抗加熱式の真空蒸着装置。真空蒸着とは、真空中で成膜材料を加熱して、溶融・蒸発または昇華させて、試料の表面にその原子または分子を堆積させて薄膜を形成する技術です。蒸着源に高純度炭素ファイバーを用いているため微細粒径のカーボンで成膜ができます。また、プリヒート機能により蒸着前に蒸着源に付着した不純物を取り除くことが可能。プラズマ放電機能を搭載しているため試料のプラズマクリーニングや親水化処理ができます。