触針式プロファイリングシステム DektakXT-A（ブルカー社）

仕様  測定方法： 触針式プロファイル測定 測定能力： 二次元表面プロファイル測定（自動ステージにより三次元表面プロファイル測定） 試料観察： 0.275～2.2 mm（自動ズーム） スタイラスの曲率半径： 2 µm、12.5 µm 触圧範囲： 1～15 mg Z方向測定範囲： 1 mm Z方向分解能： 0.1 nm 段差再現性： 0.4 nm 試料ステージ： 電動（6インチ、360°回転） 最大試料サイズ： 8インチ アタッチメント： 2インチ対応ポーラスチャック 測定温度： 室温 測定可能なサンプル： 有機薄膜・無機薄膜・ 　　　　　　　　　　　　　　高分子フィルム・液晶など   装置について　 ナノメートルオーダーからマイクロメートルオーダーの構造を有する物質や薄膜材料の表面段差や形状を迅速に評価する手法として、触針式プロファイリングシステムが知られています。当部門で管理する装置（DektakXT-A）は、これらの材料についてサブナノメートルオーダーから段差や表面形状を評価できる装置です。 本装置の特徴として、（１）高速かつ高分解能な二次元および三次元表面プロファイルの取得、（２）高い測定再現性、（３）電動ステージによる簡便な調整・測定操作、（４）容易なスタイラス交換が挙げられます。得られたデータは、制御ソフトウエアと連携した解析ソフトウエアにより詳細な解析が可能です。 これらの測定により、様々な材料の表面段差や形状に関する情報を高精細かつ迅速に提供します。