【測定波長】
スキャンシステム: 自動波長駆動装置付き回折格子分光器 260〜860 nm 固定波長: He-Neレーザー 632.8 nm
【照射ビーム径】
モノクロメーター光: 約 6×6 mm (スペクトル幅 1 nm の時)
He-Ne レーザー光: 約 1 mmφ
【入射角範囲】
40〜90° 連続コンピュータコントロール
【膜厚測定範囲】
0〜60,000 Å
【測定精度】(試料の表面,膜質によって精度が異なる。)
屈折率: ±0.01
膜厚: ±3 Å
消衰係数: ±0.01