真空チャンバー: 130mmφ×100mmH
電子顕微鏡観察試料の導電膜コーティングを行うスパッタ装置です。1.33Pa程度の低真空でグローチャージを起こさせて残留ガスをイオン化し、このガスイオンのエネルギーを利用してターゲットの金属原子を叩き出して試料に均一な薄膜を成膜します。ニードルバルブによる大気導入が可能でイオン化電流を調整できます。電極切替スイッチにより逆スパッタリングが可能で試料の親水化処理やエッチングも可能。