電子顕微鏡観察試料の導電膜コーティングを行う抵抗加熱式の真空蒸着装置。真空蒸着とは、真空中で成膜材料を加熱して、溶融・蒸発または昇華させて、試料の表面にその原子または分子を堆積させて薄膜を形成する技術です。大型ベルジャのため大サイズ試料の蒸着が可能。ペルジャ内には2組の電極が設けてあるため同一試料上に2種類の金属あるいはカーボンと金属を蒸着することができます。液体窒素トラップの併用で高速排気および高真空度化が可能。