電界放出形透過電子顕微鏡 FE-TEM, JEM-2100F（日本電子株式会社）
仕様 

加速電圧： 80, 100, 200kV

分解能（ポールピースHRP）： 格子像0.1nm, 粒子像：0.23nm, STEM分解能：0.2nm

CCDカメラ： USC, ES500W（Gatan）
エネルギー分散形X線分光器（EDS）： JED-2300T(SDD, 日本電子）, 検出面積 60mm2,
                                                          分析可能元素 B～U
電子線エネルギー損失分光器（EELS）： Enfina（Gatan）
TEM/STMトモグラフフィシステム（システムインフロンティア）
冷却2軸ホルダー等
＊STEMに球面収差補正機能はありません。

装置について　
TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する装置です。主に形状、結晶性、組成に起因した像を観察できます。ビーム安定性に優れたショットキー電界放出形電子銃を搭載し、TEM像、格子像、回折像、HAADF/BF-STEM像、元素組成分析、元素マッピング、三次元観察等幅広い観察・分析が可能です。主に金属材料、半導体材料、セラミックス等に利用されています。