加速電圧: 0.3~30 kV 電子銃: タングステンフィラメント 高真空モード分解能: 3.0nm(30kV)、1.5nm(1kV) 低真空モード分解能: 4.0nm(30kV) 倍率: ×5~300,000 試料ステージ: 大型ユーセントリック式5軸モーター駆動