走査電子顕微鏡 JSM-IT100 (日本電子)
仕様 
SEM
分解能: 4nm (20kV, WD8mm, 2次電子像)
倍率: ×8 ~ ×300,000
像の種類: 2次電子像、 反射電子像
照射電流: 約1pA 0.3μA
【ステージ機構】
試料移動: 5 (X, Y, R, T, Z)
最大試料サイズ: 150mmφ
 

装置について 
SEM(Scanning Electron Microscope)は試料表面に電子ビームを走査しながら照射して放出された二次電子や反射電子を検出器でとらえて電気信号に変換し、試料表面の拡大像をディスプレイに表示する装置。二次電子は試料の表面形状の観察に用い、通常これにより得られる像をSEM像と言います。反射電子は試料の組成や凹凸を反映したコントラスト画像を得ます。本装置は幅広いユーザーのニーズに対応できるタングステン熱電子銃タイプの汎用SEMです。試料交換のナビゲーションシステムと直感的に分かりやすいGUIで初心者にも使いやすい装置です。