電界放出形走査電子顕微鏡 FE-SEM, S-5500（日立ハイテク）
仕様
加速電圧：
0.5
～
30 kV
二次電子分解能：
0.4nm
（
30kV
）、
1.6nm
（
1kV
）
倍率： ×
60
～
2,000,000
明視野
/
暗視野
-
走査透過電子顕微鏡
（
BF/DF-STEM
）付き
装置について
走査電子顕微鏡は、電子線を試料に当てて表面構造を観察する装置です。電子線が当たった領域から発生する二次電子の信号量に応じてコントラストとして表示され、主に試料表面の凹凸構造など形態観察に用いられます。
この装置は電界放出形電子銃により高輝度の電子線を非常に細く絞ることができ、またインレンズタイプのため、ナノオーダーの高分解能観察が可能です。
STEM
は、明視野
/
暗視野
STEM
像の観察が可能で、暗視野
STEM
では検出角が変えられるため、試料に合わせた条件で観察ができます。
観察可能な最大試料サイズは以下の通りです。
平面観察試料：
5.0
×
9.5
×
3.8(H)mm
断面観察試料：
2.0
×
6.5
×
5.0(H)mm
