最大出力： 50W 印加電圧： 10-50ｋV
X線管球： Pd or Ag
検出器： SDD検出器
光学系： 直接励起型
測定可能なサンプル： 固体試料全般。C～Uまでの定性定量測定が可能。固有形状物体、薄膜、 粉体、微小試料に対応可
蛍光X線分析の原理 試料にX線を照射した際に発生した蛍光X線を半導体検出器に導入し、得られた固有のエネルギー情報から元素の定性を、強度から定量を行う。
定性定量測定について
●非破壊で試料の測定が可能
●内蔵データによる迅速な組成の評価が可能
