電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）

 

 

 装置名称 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
メーカー名 （株）日立ハイテク
型番 SU8000 
用途 表面の形状観察及び元素分析
仕様

・電子銃：冷陰極電界放出形
・対物レンズ：セミインレンズ型
・加速電圧：0.5～30kV
・リタ―ディングモード照射電圧：0.1～2kV
・二次電子像分解能：1.0nm（加速電圧15kV）2.0nm（加速電圧1kV），
　リタ―ディングモード：1.4nm（加速電圧1kV）
・倍率x20～x2,000（低倍率モード）、x80～80万倍（高倍率モード）
・最大試料サイズ：φ150mm
・反射電子検出器搭載
・透過電子信号（BF,DF）検出
・EDS付属（堀場製作所製　Emax Energy）
　エネルギー分解能：133eV、検出可能元素：Be～Cf