白色干渉計搭載レーザ顕微鏡（LSM）

 

 

 

 装置名称 白色干渉計搭載レーザ顕微鏡（LSM）
メーカー名 （株）キーエンス
型番 VK-X3000
用途 表面の形状観察、非接触式による高さ情報や表面粗さ等の計測・解析
仕様

・トリプルスキャン方式
（フォーカスバリエーション、レーザ共焦点、白色干渉）
・レーザ光源波長：404nm（最大出力：0.9mW、クラス2）
・倍率範囲：42倍～28,800倍
・XY電動ステージ稼働範囲：100mm×100mm
・搭載対物レンズ倍率：×5, ×10, ×20, ×50
・最大サンプル高さ：約70mm