Ｘ線光電子分光装置（XPS）

 

装置名称 Ｘ線光電子分光装置（XPS）
メーカー名 アルバック・ファイ（株）
型番 PHI 5000 VersaProbe 3
用途 固体表面の含有元素の種類や化学結合状態を評価
仕様

・走査型マイクロX線源
・高感度アナライザー
・SXI（Scanning X-ray Image）による微小部位観察
・高角度分解XPS
・高精度深さ方向分析