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マイクロプロセス部門
本部門は,半導体プロセスによる集積システム及びおよびMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 開発のための研究支援を使命として組織されました。 本部門では,半導体光・電子デバイス,MEMSデバイスと,これらに関する材料の評価を中心に「真空技術」「プラズマプロセス技術」「電子線技術」に焦点をあて,「研究室からの研究支援依頼に基づく業務」と「共通施設の装置の担当」の両面から研究をサポートしております。
業務内容
プラズマプロセス技術およびリソグラフィ技術による
・デバイス製作支援
・電子顕微鏡による微細構造物の観察
・触針式表面形状測定器 による高分解能計上測定
・真空技術に関する支援
・研究実験に対する技術的助言
・半導体プロセスにおける新技術の開発
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