部門・施設について

本部門は，半導体プロセスによる集積システム及びおよびMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 開発のための研究支援を使命として組織されました。 本部門では，半導体光・電子デバイス，MEMSデバイスと，これらに関する材料の評価を中心に「真空技術」「プラズマプロセス技術」「電子線技術」に焦点をあて，「研究室からの研究支援依頼に基づく業務」と「共通施設の装置の担当」の両面から研究をサポートしております。