マイクロプロセス系

【5-1. 中級】

5-1-1. 講義名：マイクロ･ナノ加工基礎

概要：本講義では、MEMS/NEMSデバイスの応用例や作製のための様々な微細加工技術を学ぶ。特に、1.フォトリソグラフィを基盤とするパターニング技術、2. 堆積技術、3. エッチング技術（ウェット&ドライ）、4. ナノ加工技術、次世代加工技術などの様々な微細加工技術を、その背景にある物理と共に習得する。

5-1-2. 講義名：リソグラフィ実習

概要：密着露光、レーザー描画などのフォトリソグラフィと電子線露光技術について、目的に応じて最適な結果を得るための手法を研究者や依頼者に提案でき、また、機器不具合にも対応できる知識および技術を習得する。

5-1-3. 講義名：走査電子顕微鏡（SEM）

概要：微細構造評価機器として幅広い分野で研究開発に用いられる走査電子顕微鏡（SEM）の基礎知識と操作技術を習得する。主に実習を通じて試料処理技術や日常の保守方法についても学ぶ。

5-1-4. 講義名：機器メーカー見学

概要：機器メーカーのラボ・工場等を訪問し最新の設備を学ぶとともに、メーカーの技術力を直接感じ、また本見学から専門的かつ詳細な知識を得る。

5-1-5. 講義名：走査プローブ顕微鏡（SPM）

概要：走査プローブ顕微鏡の基本的な原理を理解するとともにカンチレバーと呼ばれる探針を取り付け、形状像取得までを学ぶ。高分解能とされる高さ情報の他、位相像から物質の硬度情報取得など様々なアプリケーションを学ぶ。

5-1-6. 講義名：X線回折（単結晶）

概要：単結晶X線構造回折の基本的な原理を理解する。測定より得られた回折像から構造式までの一連の測定を習得するとともにデータから最良の結晶マウントに必要な知識を習得する。

5-1-7. 講義名：成膜実習

概要：真空蒸着，スパッタ成膜，プラズマCVDについて、目的に応じて最適な結果を得るための手法を研究者や依頼者に提案でき、また、機器不具合にも対応できる知識および技術を習得する。

5-1-8. 講義名：研究室見学

概要：大学の研究室を訪問し、その分野の最先端の研究に触れることで研究者が求めている技術や必要とするスキルを知る。

5-1-9. 講義名：技術･研究支援概論1

概要：セミナー形式によるメーカー研究者・開発者の技術紹介や開発秘話などを受講。普段知りえない苦労話や製品化するまでの経緯などを聴講し、自身の研究や業務と合わせ問題解決のスキルを養う。

5-1-10. 講義名：技術･研究支援発表会･TCカレッジシンポジウム

概要：TCカレッジ受講生が自身の業務紹介や研究支援内容を口頭で発表し、受講生間で情報共有するとともに、発表スキルの向上を目指す。シンポジウムの運営に携わり、今後のイベント開催等の参考にする。（1年目の受講カリキュラム）

5-1-11. 講義名：中古機器バラシキャラバン隊

概要：廃棄予定の設備を分解し内部まで観察し、その技術に直接触れることで装置を深く理解する。

5-1-12. 講義名：装置実習（物質分析(バイオ･構造解析･材料評価)、設計製作、マイクロプロセス）

概要：TCカレッジの各コースで習得または実践する設備等について、各コース担当の紹介の後、実際に実習する。

5-1-13. 講義名：マイクロプロセス講究1

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き、技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。基礎あるいは先端研究の論文を輪読し受講者自身が解説することにより、プレゼンテーション力、コミュニケーション力、研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。（1年目のカリキュラム）

5-1-14. 講義名：テクニカルレポート1

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き、技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。与えられた（あるいは自ら設定した）技術・研究課題を中心に、専門知識とその周辺基礎知識を修得し、まとめて発表し議論を行うことにより、プレゼンテーション力、コミュニケーション力、研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。（1年目のカリキュラム）

【5-2. 上級】

5-2-1 講義名：マイクロ･ナノシステム

概要：本講義では、半導体集積回路製造で培われたフォトリソグラフィを基本に、多様な加工技術を結集して、微小･高精度・高機能な機械システムを実現するMEMS/NEMSの基礎を学ぶ。寸法効果などを考慮したMEMS/NEMSデザイン手法を基に、リソグラフィ、薄膜技術、エッチング、微細機械加工などの加工技術を講述する。これらの加工技術を用いた応用分野であるマイクロアクチュエータ、マイクロセンサ、マイクロ流体デバイス、ナノデバイス、バイオMEMSについても紹介する。

5-2-2. 講義名：微細構造形成実習

概要：主としてプラズマエッチング技術について、目的に応じて最適な結果を得るためのプラズマ源やエッチングの手法を研究者や依頼者に提案でき、また、機器不具合にも対応できる知識および技術を習得する。

5-2-3. 講義名：ナノ材料計測a

概要：ナノ材料の特性はナノサイズの構造に大きく依存するため、高い空間分解能を持つ計測手法は必要不可欠である。今日のナノ材料の発展にともない、ナノ計測手法も日々進化している。それらの計測手法には、多くの種類・応用法があり、材料の種類や知りたい情報によって使用法は大きく異なってくる。適切な計測手法を選択するためには、その手法をよく理解していることが重要である。本講義では、ナノ材料計測手法を、具体例を通して学習する。前半では、電子顕微鏡法や粒子・チューブなどの低次元ナノ材料、後半では分光法や２次元・３次元ナノ材料、分子機械などに関するナノ材料とその計測手法を学習することを目標とする。

5-2-4. 講義名：X線回折（単結晶）

概要：得られたX線データから構想式の取得までの実際の処理を学ぶとともに、得られた構造結果の評価や論文掲載に必要な処理等を学ぶ。また、構造が得られなかった際の処理方法などより具体出来な解析方法の習得を目的とする。

5-2-5. 講義名：技術･研究支援概論2

概要：セミナー形式による教員の研究紹介や研究秘話などを受講する。研究の組み立て方や社会の動向などを聴講し、自身の研究や業務と合わせ問題解決のスキルを養う。

5-2-6. 講義名：技術･研究支援発表会･TCカレッジシンポジウム企画･運営

概要：1年目のTCカレッジ受講生の業務紹介や研究支援内容の口頭発表を聴講し、受講生間で情報共有するとともに、発表に対するコメント等を与え、自身の発表スキルの向上を目指す。シンポジウムの運営に携わり、今後のイベント開催等の参考にする。（2年目の受講カリキュラム）

5-2-7. 講義名：マイクロプロセス講究2

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き，技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。基礎的あるいは先端研究の論文を輪読し受講者自身が解説することにより，プレゼンテーション力、コミュニケーション力，研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。（2年目のカリキュラム）

5-2-8. 講義名：テクニカルレポート2

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き，技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。与えられた（あるいは自ら設定した）技術・研究課題を中心に、専門知識とその周辺基礎知識を修得し，まとめて発表し議論を行うことにより，プレゼンテーション力、コミュニケーション力，研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。（2年目のカリキュラム）

5-2-9. 講義名：研究室体験

概要：協力いただける研究室への短期間の研究室体験を通じて、研究者の目的をより深く学ぶ。なぜその試料を作成するのか、なぜその測定を必要とするかなど研究の原点を理解することでより研究者・学生との距離を身近なものとする。

5-2-10. 講義名：メーカー短期留学

概要：協力いただけるメーカーへの短期間の留学を通じて、企業研究をより深く学ぶとともに、研究者・技術者などとの距離を身近なものとする。