マイクロプロセス系

【6-1. 中級】赤文字：科目必修，黒文字：選択科目

6-1-1. 講義名：機器メーカー見学（1）

概要：主要機器メーカーのラボ・工場等を訪問し最新の設備を学ぶとともにメーカーの技術力を直接感じ、また本件額より専門的かつ詳細な知識を得ることに期待する。

6-1-2. 講義名：東工大研究室見学

概要：東工大の研究室を訪問し、その分野の最先端の研究に触れることで研究者が求めている技術や必要とするスキルを実感する。

6-1-3. 講義名：技術・研究支援発表会・シンポジウム1（2Q, 4Q）

概要：東工大内で開催される発表会で自身が行っている業務の紹介や研究を口頭・ポスター等で発表を行う。

6-1-4. 講義名：マイクロプロセス講究１（24 回，内発表 4～6 回）

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き、技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。基礎あるいは先端研究の論文を輪読し受講者自身が解説することにより、プレゼンテーション力、コミュニケーション力、研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。

6-1-5. 講義名：テクニカルレポート 1 （発表 4 回）

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き、技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。与えられた（あるいは自ら設定した）技術・研究課題を中心に、専門知識とその周辺基礎知識を修得し、まとめて発表し議論を行うことにより、プレゼンテーション力、コミュニケーション力、研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。

6-1-6. 講義名：マイクロ・ナノ加工基礎

概要：本講義では、MEMS/NEMSデバイスの応用例や作製のための様々な微細加工技術を学ぶ。特に、1.フォトリソグラフィを基盤とするパターニング技術、2. 堆積技術、3. エッチング技術(ウェット&ドライ)、4. ナノ加工技術、次世代加工技術などの様々な微細加工技術を、その背景にある物理と共に習得する。

6-1-7. 講義名：リソグラフィ実習

概要：密着露光、レーザー描画などのフォトリソグラフィと電子線露光技術について、目的に応じて最適な結果を得るための手法を研究者や依頼者に提案でき、また、機器不具合にも対応できる知識および技術を習得する。

6-1-8. 講義名：走査プローブ顕微鏡（1）

概要：走査プローブ顕微鏡の基本的な原理を理解するとともにカンチレバーと呼ばれる探針を取り付け、形状像取得までを学ぶ。高分解能とされる高さ情報の他、位相像から物質の硬度情報取得など様々なアプリケーションを学ぶ。

6-1-9. 講義名：機器メーカー見学（2）

6-1-10. 講義名：走査電子顕微鏡

概要：走査電子顕微鏡観察を行う際の装置立ち上げ、試料導入や観察について一通りの作業と技術を習得する。走査電子顕微鏡の動作原理、排気系統や電子光学系、各種電子線源などの基礎知識を学習する。

6-1-11. 講義名：走査プローブ顕微鏡（2）

概要：形状像以外の測定方法や、測定資料に応じた前処理法などを習得する。またそれら測定の際に生じる特徴的症状や対応を紹介し、SPM測定の新たな知見を得るとする。

6-1-12. 講義名：薄膜X線A

概要：（準備中）

6-1-13. 講義名：単結晶X線構造回折装置B

概要：単結晶X線構造回折の基本的な原理を理解する。測定より得られた回折像から構造式までの一連の測定を習得するとともにデータから最良の結晶マウントに必要な知識を習得する。

6-1-14. 講義名：技術・研究支援概論1

概要：セミナー形式によるメーカー研究者・開発者の技術紹介や開発秘話などを受講。普段知りえない苦労話製品化するまでの経緯などを聴講し、自身の研究や業務と合わせ問題解決のスキルを養う。

6-1-15. 講義名：中古機器バラシキャラバン隊

概要：廃棄予定の設備を分解し内部まで観察し、その技術に直接触れることで装置を深く理解する。

6-1-16. 講義名：装置実習（バイオ、構造解析、材料評価、設計製作、マイクロプロセス）

概要：各コース担当によるコース紹介

6-1-17. 講義名：成膜実習

概要：真空蒸着，スパッタ成膜，プラズマCVDについて、目的に応じて最適な結果を得るための手法を研究者や依頼者に提案でき、また、機器不具合にも対応できる知識および技術を習得する。

6-1-18. 講義名：電子スピン共鳴装置

概要：電子スピン共鳴装置の基本的な原理を理解する。核磁気共鳴装置と同じ磁気共鳴装置ではあるが電子スピン共鳴によるスペクトルから構造情報を取得する。

6-1-19. 講義名：X線光電子分光法

概要：X線光電子分光法の基本的な原理を理解する。X線光電子分光法の測定方法の習得ならびに表面分析に必要な技術や知識を得る。

【6-2. 上級】

6-2-1. 講義名：技術・研究支援発表会・シンポジウム2（2Q, 4Q）

概要：~~全国の国立大学や国研が中心となって開催される技術研究会~~東工大内で開催される発表会に参加・発表を行う。これまで自身が学び、習得した技術をまとめ発表することで、業務の整理、発表のスキルを学ぶ。（※ 2023/2/8 誤り訂正）

6-2-2. 講義名：マイクロプロセス講究２（24 回，内発表 4～6 回）

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き，技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。基礎的あるいは先端研究の論文を輪読し受講者自身が解説することにより，プレゼンテーション力、コミュニケーション力，研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。

6-2-3. 講義名：テクニカルレポート２（発表 4 回）

概要：研究の具体的な解決課題を技術職員の技術力を活用することにより解決に導き，技術職員の研究課題解決能力を向上させることを目的とする。与えられた（あるいは自ら設定した）技術・研究課題を中心に、専門知識とその周辺基礎知識を修得し、まとめて発表し議論を行うことにより、プレゼンテーション力、コミュニケーション力，研究者視点の養成や関連分野の幅広い知識の習得を図る。

6-2-4. 講義名：マイクロ・ナノシステム

概要：本講義では，半導体集積回路製造で培われたフォトリソグラフィを基本に，多様な加工技術を結集して，微小･高精度・高機能な機械システムを実現するMEMS/NEMSの基礎を学ぶ。寸法効果などを考慮したMEMS/NEMSデザイン手法を基に、リソグラフィ，薄膜技術，エッチング，微細機械加工などの加工技術を講述する。これらの加工技術を用いた応用分野であるマイクロアクチュエータ，マイクロセンサ，マイクロ流体デバイス，ナノデバイス，バイオMEMSについても紹介する。

6-2-5. 講義名：微細構造形成実習

概要：主としてプラズマエッチング技術について、目的に応じて最適な結果を得るためのプラズマ源やエッチングの手法を研究者や依頼者に提案でき、また、機器不具合にも対応できる知識および技術を習得する。

6-2-6. 講義名：薄膜X線A

概要：薄膜X線回折測定の基礎的な原理から、各種測定法の説明、実際の操作までを学ぶことを目的とする。中級カリキュラムでは、座学と実機を使った操作を共に学ぶことにより、通常の依頼業務や分析相談などに対応できる人財を養成する。

6-2-7. 講義名：ナノ材料計測

概要：ナノ材料の特性はナノサイズの構造に大きく依存するため、高い空間分解能を持つ計測手法は必要不可欠である。今日のナノ材料の発展にともない、ナノ計測手法も日々進化している。それらの計測手法には、多くの種類・応用法があり、材料の種類や知りたい情報によって使用法は大きく異なってくる。適切な計測手法を選択するためには、その手法をよく理解していることが重要である。本講義では、ナノ材料計測手法を、具体例を通して学習する。前半では、電子顕微鏡法や粒子・チューブなどの低次元ナノ材料、後半では分光法や２次元・３次元ナノ材料、分子機械などに関するナノ材料とその計測手法を学習することを目標とする。

6-2-8. 講義名：単結晶X線構造回折装置B

概要：得られたX線データから構想式の取得までの実際の処理を学ぶとともに得られた構造結果の評価、論文掲載に必要な処理等を学ぶ。また構造が得られなかった際の処理方法などより具体出来な解析方法の習得を目的とする。

6-2-9. 講義名：技術・研究支援概論2

概要：セミナー形式による教員の研究紹介や研究秘話などを受講する。研究の組み立て方や社会の動向などを聴講し、自身の研究や業務と合わせ問題解決のスキルを養う。

6-2-10. 講義名：構造解析講究

6-2-11. 講義名：研究室体験

概要：協力いただける研究室の短期間の研究室体験を通じて研究者の目的をより深く学ぶことを目的とする。なぜその試料を作成するのか、なぜその測定を必要とするかなど研究の原点を理解することでより研究者・学生との距離を身近なものとする。