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部門長
すずかけ台
遠西 美重
RIE、表面観察
上席技術専門員
すずかけ台
松谷 晃宏
半導体プラズマプロセス工学、ナノマイクロ科学
技術専門員
大岡山
宇佐美 浩一
シリコン、CVD、特殊材料ガス
技術専門員
すずかけ台
佐藤 美那
電子顕微鏡、成膜技術
一般技術職員
すずかけ台
藤本 美穂
リソグラフィ技術
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