マイクロプロセス部門｜部門紹介

支援体制

　当部門では，「共通施設の装置の担当」と「研究室からの研究支援依頼に基づく業務」の両面から研究をサポートしております。
　「共通施設の装置の担当」では，専攻・研究所などの共通施設あるいは共同で運営している実験装置，研究室に設置されている学内共同設備の実験装置を担当するという形態で研究支援を行っております。担当内容としては，当該実験装置を用いた測定，分析，試料製作，学生への指導・講習，基本特性に関する実験，メンテナンスなどを行っております。
　「研究室からの研究支援依頼に基づく業務」では，各研究室で取り組んでいる研究に専門技術の観点から関与し，研究実験の実施，技術開発，技術相談，実験の指導，実験装置のメンテナンス，装置の設計などを行っております。

研究支援依頼

■研究支援依頼は年度単位 （年度途中からでも可）
■研究室等の教授または准教授から包括的に依頼を受け，実際の支援業務は大学院生等と当部門担当者で日程等を調整の上，実施します。

＜研究支援依頼書により依頼された業務の例＞
・創造研究棟メカノマイクロプロセス室の管理・運営と主要なプロセス/分析装置の担当
・プラズマプロセス技術によるデバイス製作支援
・電子ビーム露光によるホトマスクの製作
・走査型電子顕微鏡による観察および表面形状測定
・エネルギー分散Ｘ線分析法による元素同定
・触針式表面形状測定器(Ulvac製Dektak150)による表面形状測定と解析
・クリーンルーム内の実験装置の保守等に関すること
・一般真空技術に対する支援
・プラズマプロセスにおける新技術の開発
・大学院および学部学生等の研究実験に対する技術的助言
・学会・展示会等における技術情報収集および技術開発の成果発表等
・共同研究における技術的支援（研究分担者）
・ドライエッチングによる微細構造形成に関わる技術支援
・ＦＩＢによる微細加工