装置一覧｜電子顕微鏡前処理装置群

電子顕微鏡前処理装置群

装置仕様

　電子顕微鏡観察のための種々の試料前処理装置

【装置リスト】

A）精密イオンポリシング（PIPS Model.691, Gatan）: Arイオンミリング

B）ディンプルグラインダー（Model.656, Gatan）：ディンプル作製および機械研磨

C）ディスクグラインダー（Model.623, Gatan）：機械研磨

D）精密切断（IsoMet LS, BUEHLER）：切削砥石による切断

E）ディスクパンチ（Model.659, Gatan）：3mmφディスク切り出し

F）真空蒸着（JEE420, JEOL）: 真空蒸着（C成膜）

G）カーボンコーター（CADE-E, メイワフォーシス）：真空蒸着（C成膜）、親水化処理

H）イオンコーター（IB-3, エイコー）：スパッタ（Au, Pt-Pd成膜）、親水化処理

　原理
　主に無機材料の研磨、切断、成膜

この装置を使ってできること

　A)～D）でできること
　●イオンミリング法によるTEM試料作製
　●SEMによる試料断面観察のための断面出しおよび平滑加工
　F)～H）でできること
　●絶縁試料の導電性処理
　●FIB加工の保護膜成膜

装置担当者・連絡先

　J1棟B02室　内線：5281
　設置場所　J1棟502室（6264）
　庄司 大（shoji.d.aa(@)m.titech.ac.jp）