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最大出力： 50W
印加電圧： 10-50ｋV
X線管球：Pd or Ag
検出器： SDD検出器
光学系： 直接励起型
試料にX線を照射した際に発生した蛍光X線を半導体検出器に導入し、得られた固有のエネルギー情報から元素の定性を、強度から定量を行う
固体試料全般。C～Uまでの定性定量測定が可能。固有形状物体、薄膜、粉体、微小試料に対応可
定性定量測定について
R1棟120室 内線：5276
設置場所 R1棟124室
中村 紳兵（nakamura.s.ae(@)m.titech.ac.jp）
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