装置一覧｜電子顕微鏡前処理装置群

電子顕微鏡前処理装置群

装置仕様

　電子顕微鏡観察のための種々の試料前処理装置
　【装置リスト】
　A）精密イオンポリシング（PIPS Model.691, Gatan）: Arイオンミリング
　B）ディンプルグラインダー（Model.656, Gatan）：ディンプル作製および機械研磨
　C）ディスクグラインダー（Model.623, Gatan）：機械研磨
　D）精密切断（IsoMet LS, BUEHLER）：切削砥石による切断
　E）ディスクパンチ（Model.659, Gatan）：3mmφディスク切り出し
　F）真空蒸着（JEE420, JEOL）: 真空蒸着（C成膜）
　G）カーボンコーター（CADE-E, メイワフォーシス）：真空蒸着（C成膜）、親水化処理
　H）イオンコーター（IB-3, エイコー）：スパッタ（Au, Pt-Pd成膜）、親水化処理

この装置を使ってできること

装置担当者・連絡先

　J1棟B02室　内線：5281
　設置場所　J1棟502室（6264）
　庄司 大（shoji.d.aa(@)m.titech.ac.jp）