装置一覧｜走査電子顕微鏡(日本電子 SEM,JSM-6610LA) - オープンファシリティセンター Open Facility Center

東京工業大学
オープンファシリティセンター
分析部門（すずかけ台）

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走査電子顕微鏡（日本電子 SEM,JSM-6610LA）

装置仕様

　加速電圧： 0.3～30 kV
　電子銃：タングステンフィラメント
　高真空モード分解能： 3.0nm（30kV）、1.5nm（1kV）
　低真空モード分解能： 4.0nm（30kV）
　倍率：×5～300,000
　試料ステージ：大型ユーセントリック式5軸モーター駆動
　エネルギー分散形X線分光器（EDS）：JED-2300（SDD,日本電子）, X線有感領域 10mm2

　原理
　走査電子顕微鏡は、電子線を試料に当てて表面構造を観察する装置です。電子線が当たった領域から発生する二次電子や反射電子の信号量に応じてコントラストとして表示されます。二次電子を使った観察では、試料表面の凹凸構造など形態観察に用いられます。

この装置を使ってできること

　反射電子を利用すれば、材料や組成の違いを強調して観ることができ、特性X線を用いれば、元素分析ができるので元素毎のマップも得られる
　低真空モード（10～270Pa）を利用すると、非導電性試料を無蒸着で観察することが可能

装置担当者・連絡先

　R1棟120室　内線：5276
　設置場所　R1棟517室（6265）
　秋本由佳（akimoto.y.ac(@)m.titech.ac.jp）

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