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加速電圧: 80, 100, 200kV
電子銃:ショットキータイプ電界放出型電子銃
分解能(ポールピースHRP):
格子像:0.1nm, 粒子像:0.23nm, STEM分解能:0.2nm
CCDカメラ: USC, ES500W(Gatan)
エネルギー分散形X線分光器(EDS):
JED-2300T(SDD, 日本電子), 検出面積 60mm2,分析可能元素 B~U
電子線エネルギー損失分光器(EELS): Enfina(Gatan)
TEM/STEMトモグラフシステム(システムインフロンティア)
冷却2軸ホルダー等
*STEMに球面収差補正機能はありません
R1棟120室 内線:5276
設置場所 J1棟B02室(5281)
秋本 由佳(akimoto.y.ac(@)m.titech.ac.jp)
庄司 大(shoji.d.aa(@)m.titech.ac.jp)
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