装置一覧｜走査電子顕微鏡(日本電子 JSM-IT100) - オープンファシリティセンター Open Facility Center

東京工業大学
オープンファシリティセンター
分析部門（すずかけ台）

オープンファシリティセンター分析部門（すずかけ台）は分析設備の利用を受け付けています
TEL: 045-924-5276　〒226-8503　神奈川県横浜市緑区長津田町4259 R1-120室
メールボックス: R1-34

　【SEM】
　分解能：4nm (20kV, WD8mm, 2次電子像)
　倍率：×8 ～ ×300,000
　像の種類：2次電子像、反射電子像
　照射電流：約1pA ～ 0.3μA
　【ステージ機構】
　試料移動：5軸 (X, Y, R, T, Z)
　最大試料サイズ：150mmφ

　原理
　SEM(Scanning Electron Microscope)は試料表面に電子ビームを走査しながら照射して放出された二次電子や反射電子を検出器でとらえて電気信号に変換し、試料表面の拡大像をディスプレイに表示する装置です。

　二次電子像観察
　反射電子像観察

　J1棟B02室　内線：5281
　設置場所　J1棟B02室（5281）
　庄司大（shoji.d.aa(@)m.titech.ac.jp）

お問い合わせ
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分析に関する相談は
分析部門（すずかけ台）質問・相談票
を記載の上、下記メールアドレスまで
Email: matanalysis_s(@)ofc.titech.ac.jp
Tel: 5276

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