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電子顕微鏡観察のための種々の試料前処理装置
【装置リスト】
A)精密イオンポリシング(PIPS Model.691, Gatan): Arイオンミリング
B)ディンプルグラインダー(Model.656, Gatan):ディンプル作製および機械研磨
C)ディスクグラインダー(Model.623, Gatan):機械研磨
D)精密切断(IsoMet LS, BUEHLER):切削砥石による切断
E)ディスクパンチ(Model.659, Gatan):3mmφディスク切り出し
F)真空蒸着(JEE420, JEOL): 真空蒸着(C成膜)
G)カーボンコーター(CADE-E, メイワフォーシス):真空蒸着(C成膜)、親水化処理
H)イオンコーター(IB-3, エイコー):スパッタ(Au, Pt-Pd成膜)、親水化処理
原理
主に無機材料の研磨、切断、成膜
A)~D)でできること
●イオンミリング法によるTEM試料作製
●SEMによる試料断面観察のための断面出しおよび平滑加工
F)~H)でできること
●絶縁試料の導電性処理
●FIB加工の保護膜成膜
J1棟B02室 内線:5281
設置場所 J1棟502室(6264)
庄司 大(shoji.d.aa(@)m.titech.ac.jp)
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