装置一覧｜電界放出型透過電子顕微鏡(日本電子 FE-TEM,JEM-2100F)

電界放出型透過電子顕微鏡（日本電子 FE-TEM,JEM-2100F）

装置仕様

　加速電圧： 80, 100, 200kV
　電子銃：ショットキータイプ電界放出型電子銃
　分解能（ポールピースHRP）：

格子像：0.1nm, 粒子像：0.23nm, STEM分解能：0.2nm

　CCDカメラ： USC, ES500W（Gatan)
　エネルギー分散形X線分光器（EDS）： 

JED-2300T(SDD, 日本電子）, 検出面積 60mm2,分析可能元素 B～U

　電子線エネルギー損失分光器（EELS）： Enfina（Gatan)

TEM/STEMトモグラフシステム（システムインフロンティア）

　冷却2軸ホルダー等
　＊STEMに球面収差補正機能はありません

TEMは、薄片化した試料に電子線を照射し、透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する装置です。

この装置を使ってできること

主に形状、結晶性、組成に起因した像を観察できる

ビーム安定性に優れたショットキー電界放出形電子銃を搭載し、 TEM像、格子像、回折像、HAADF/BF-STEM像、元素組成分析、 元素マッピング、三次元観察等幅広い観察・分析が可能

主に金属材料、半導体材料、セラミックス等に利用されている

装置担当者・連絡先

　R1棟120室　内線：5276
　設置場所　J1棟B02室（5281）
　秋本 由佳（akimoto.y.ac(@)m.titech.ac.jp）
　庄司 大（shoji.d.aa(@)m.titech.ac.jp）