装置一覧｜電界放出型走査電子顕微鏡(日本電子 FE-SEM, JSM-IT800)

電界放出型走査電子顕微鏡（日本電子 FE-SEM, JSM-IT800)

装置仕様

　入射電圧： 0.01～30kV
　電子銃：インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃
　二次電子分解能：0.7nm（20kV）、1.3nm（1kV)
　倍率： ×10～2,000,000
　付属機器： EDS検出器、シンチレーター反射電子検出器、低真空モード

　原理

走査電子顕微鏡は、電子線を試料に当てて表面構造を観察する装置です。電子線が当たった領域から発生する二次電子の信号量に応じてコントラストとして表示され、主に試料表面の凹凸構造など形態観察に用いられます。

この装置を使ってできること

この装置は電界放出形電子銃により高輝度の電子線を非常に細く絞ることができるため高分解能な観察が可能である。EDS検出器を用いることで元素分析が可能であり、元素マッピング像が得られる。また、低真空モードを利用すると非導電性試料を無蒸着で観察することが可能

装置担当者・連絡先

　J1棟B02室　内線：5281
　設置場所　J1棟B02室（5281）
　庄司 大（shouji.d.6a8e)