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走査電子顕微鏡（日本電子 JSM-IT100）

 

装置仕様

　【SEM】
　分解能：4nm (20kV, WD8mm, 2次電子像)
　倍率：×8 ～ ×300,000
　像の種類：2次電子像、 反射電子像
　照射電流：約1pA ～ 0.3μA
　【ステージ機構】
　試料移動：5軸 (X, Y, R, T, Z)
　最大試料サイズ：150mmφ


　原理

SEM(Scanning Electron Microscope)は試料表面に電子ビームを走査しながら照射して放出された二次電子や反射電子を検出器でとらえて電気信号に変換し、試料表面の拡大像をディスプレイに表示する装置です。

 

この装置を使ってできること
　二次電子像観察
　反射電子像観察

 

装置担当者・連絡先

　J1棟B02室　内線：5281
　設置場所　J1棟B02室（5281）
　庄司 大（shoji.d.aa(@)m.titech.ac.jp）


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